無(wú)塵室（Clean Room），也可稱(chēng)為「潔凈室」。是一個(gè)嚴(yán)格控制室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布的環(huán)境。

而無(wú)塵室內(nèi)的潔凈空氣，來(lái)源是外氣（Outside Air），在經(jīng)過(guò)無(wú)塵室系統(tǒng)中的各種空氣調(diào)節(jié)和過(guò)濾裝置進(jìn)行處理后，才能滿(mǎn)足無(wú)塵室的潔凈要求。其中有三個(gè)關(guān)鍵設(shè)備：MAU、DCC 和 FFU。

MAU – 外氣空調(diào)箱

MAU（Make-up Air Unit），也稱(chēng)為外氣空調(diào)箱，對(duì)無(wú)塵室環(huán)境的影響最大。主要功能是控制露點(diǎn)、制造潔凈空氣并確保無(wú)塵室保持正壓。無(wú)塵室需要恒溫恒濕的新鮮空氣，因此必須從室外抽取新鮮空氣通過(guò) MAU 進(jìn)行除塵、濕度控制、溫度控制，將空氣調(diào)節(jié)到符合無(wú)塵室需求的條件，并替換掉原有的空氣。

DCC – 干式冷卻盤(pán)管

DCC（Dry Cooling Coil），是用于控制室內(nèi)溫度、消除室內(nèi)各種顯熱的設(shè)備。在無(wú)塵室中，這些顯熱包括了例如人、照明、機(jī)械等所產(chǎn)生熱量。

而 DCC 可搭配 MAU 提供的出風(fēng)溫度，調(diào)整回風(fēng)管道中的氣流溫度，這樣可以減少循環(huán)冷卻盤(pán)管所需的冰水量，隨時(shí)調(diào)整無(wú)塵室的熱負(fù)載。

FFU – 風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組

FFU（Fan Filter Unit），是由高效過(guò)濾器（HEPA）或超高效過(guò)濾器（ULPA）和微型送風(fēng)機(jī)、殼體組合而成的過(guò)濾與送風(fēng)設(shè)備，常用于亂流及層流無(wú)塵室內(nèi)，可以想象成是一個(gè)自帶動(dòng)力的末端過(guò)濾與送風(fēng)裝置，廣泛地應(yīng)用于無(wú)塵室當(dāng)中。

在無(wú)塵室中，會(huì)由 MAU、FFU 和 DCC 協(xié)同工作。外氣由 MAU 負(fù)責(zé)進(jìn)行預(yù)濾、初濾、加濕、除濕、冷卻和加熱的處理，將微塵初步過(guò)濾并控制其溫濕度，然后送入無(wú)塵室的回風(fēng)道內(nèi)。DCC 干式冷卻盤(pán)管進(jìn)一步將回風(fēng)管道中的回風(fēng)降溫至符合無(wú)塵室要求的范圍。然后 FFU 以超高效過(guò)濾網(wǎng)過(guò)濾空氣，并帶動(dòng)無(wú)塵室內(nèi)的氣流循環(huán)，帶走微塵和熱量，實(shí)現(xiàn)所需的潔凈度和換氣量。最后，將潔凈空氣供應(yīng)回?zé)o塵室內(nèi)的制造區(qū)(Fab)。

通過(guò)使用 MAU、DCC 和 FFU 組合系統(tǒng)，可以確保無(wú)塵室內(nèi)的環(huán)境達(dá)到所需的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。了解這些設(shè)備的工作原理和特點(diǎn)，可以幫助我們更好地運(yùn)營(yíng)無(wú)塵室，獲得高品質(zhì)的生產(chǎn)工作環(huán)境。

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